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走査電子顕微鏡(SEM)走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)は、顕微鏡の一種です。通常の光学顕微鏡と異なり、電子線をサンプルに照射し、跳ね返った二次電子や反射電子を解析することで表面の画像に置き換えるものです。通常の光学顕微鏡の分解能を超えた倍率で、立体的に表面観察ができる、非常に優れた技術です。ショーボンド建設では、補修工学研究所にEPMA・SEMの両目的で使用できる装置を配置しており、微細構造の分析などに活用しています。


SEMは以下の特長を有する調査法です。

  1. 分解能に優れ、非常に高倍率での分析が可能。
  2. 結果が立体的な映像として記録できます。

一方、適用に関しては以下の注意点があります。

  1. 真空状態での測定となるため、真空で形態の変化する物質には適用できません。
  2. 高電圧の電子線を照射するため、試料によってはダメージを受ける場合があります。

SEMは、以下の手順で行います。

試料の採取
試験体、または対象構造物から、平滑な試験片を採取します。

試験片の乾燥
試験片をデシケータなどで十分乾燥させます。

試験片の処理
金属蒸着処理を行います。

分析
試験台に試験片を載せ、分析を行います。



SEMによる分析結果は、詳細な立体画像として記録されます。
目的により異なりますが、劣化要因物質を特定する場合には、代表的な物質の例と比較して診断します。
いずれにせよ、画像として結果が出ますので、目的に応じた判定が可能です。



SEMは非常に高度な技術であり、豊富な経験と技術を持ったショーボンド建設にお問い合わせください。

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